KompetenzzentrumHanseNanoTec
Das Netzwerk fürNanotechnologiein Hamburg
Ansprechpartner Kompetenzen
Forschungsgruppe Nanostrukturphysik Institut für Angewandte Physik der Universität Hamburg Jungiusstraße 11 20355 Hamburg
http://www.physnet.uni-hamburg.de/institute/IAP/Group_N/index.html
Prof. Dr. Ulrich Merkt Tel.: 040/ 4 28 38-46 85 Fax : 040/ 4 28 38-61 25 E-Mail: merkt@physnet.uni-hamburg.de
Nanostrukturierung (lateral <100nm) Elektronenstrahl-Lithografie, Maskaligner MFM