Nanotechnologie-Kompetenzen
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Incoatec verwendet ultrapräzise Beschichtung mittels PVD
(Magnetron- und Ionenstrahl-Sputtern). Homogene Schichten besser 0.1% auf bis
zu 6 Zoll sowie 50 cm Länge können abgeschieden werden. Als Substrate für die
Einzel- und Multilayer kommen planare wie auch parabolisch oder elliptisch, ein-
oder zweidimensional gekrümmte Flächen zum Einsatz. Elliptische oder parabolische
Substratformung ist "in-house" möglich.
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Produkte und Dienstleistungen
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Produkte:
Röntgenoptiken auf Dünnschichtbasis für Diffraktometrie,
Spektrometrie sowie Synchrotrons bilden die Hauptprodukte.
Gesputterte Einzel- und Multilagensysteme, sowohl metallisch als auch keramisch -
können auf 6 Zoll oder bis zu 50 cm Länge abgeschieden werden.
Als Dienstleistung ist Dünnschichtcharakterisierung mittels Röntgendiffraktometrie,
insbesondere Reflektometrie, sowie Röntgenfluoreszenzspektrometrie möglich.
Zudem können 3D Oberflächenprofile mit optischen Methoden vermessen werden.
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